電子級多晶硅成套制備技術獲得青海省科技進步一等獎

2021-10-21 17:51:35 來源:

 日前,經青海省科學技術獎專家評審組評審、省科學技術獎勵委員會審定,省政府批準,“電子級多晶硅成套制備技術研發及產業化”項目,榮獲2020年度青海省科學技術進步一等獎。

據了解,電子級多晶硅是集成電路產業中最重要的基礎材料,它的國產化程度影響著我國集成電路材料的戰略安全,該項目由青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司主導實施。

為了實現自主創新,從2009年開始,青海黃河水電新能源分公司就與浙江大學硅材料國家重點實驗室、浙江金瑞泓科技股份有限公司合作,共同開展電子級多晶硅制備技術的研發及產業化項目的研究,致力于實現電子級多晶硅的國產化,提高電子級多晶硅的自給率。

青海黃河水電新能源分公司質量保證部主任李海霞說:“此項研發屬于國內首例,因此在研發過程中,幾乎無經驗可循,都是摸著石頭過河。”

01,是一個艱難的過程,研發人員面臨著一個又一個難關。

為了攻克這項科技難關,研發團隊從“人、機、料、法、環、測”六個要素出發,采用“魚骨圖”分析法,抽絲剝繭分析影響產品純度的各個因素,有針對性地制定研發方案,反復實驗研究。

該公司生產技術部副主任危勝說:“通過成千上萬次的實驗摸索,成功地解決了如原輔材料和管道設備選擇、中間產品分離提純、CVD化學氣相沉淀、石墨部件凈化以及產品清洗、包裝、檢測等技術瓶頸,最終突破電子級多晶硅成套制備技術。”

項目成果包括副產物四氯化硅高效循環利用技術、三氯氫硅氣體分離提純技術、高純多晶硅制備和質量控制技術等一系列核心自主技術,使得電子級多晶硅產品質量及產出率進一步提高,實現了微電子單晶用多晶硅產品的規;a,近三年經濟效益超過5000多萬元。

來源:央廣網

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